微电子封装应用中

微电子封装应用中-微连接技术电子显微镜

  如果分子纳米线主要是较短的结构，其长度很少达到微米尺度
，而CNT的长度甚至可以达到毫米尺度，所以CNT同样适用于微电子
封装℃NT已经用于逻辑电路晶体管器件、场发射结构和贯通孔等结
构之中。
  纳米线和纳米管可用硅、GaN等半导体材料制造。由于这些材
料与微电子器件的制造材料相近，纳米线和纳米管在未来复杂的微
电子应用中将显得更为重要。近来，人们研究了纳米线和纳米管的
合成技术，把它们整合到传统的平面技术（例如通过超晶格纳米线
造型转化），以及这种整合的应用前景。
  除这些材料之外，其他纳米线都是由各种氧化物及多元素氧化
物成，如Zn0。当这类纳米线吸收分析物时，其电导率会发生变化
，而且这种变化能够准确地测量，因此这种纳米线对传感器等应用
更为重要。
  在菌苔状金亚微米线的制备、表征和应用等领域的研究成果，
以分享纳米封装研究的激动。它可用于连接通常毫无关联的技术领
域，如低温连接、电子器件与生物细胞的接口技术。纳米线和封装
研究
  在过去的数十年中，当代微电子应用中的可靠性问题已经显著
地拓宽了封装领域的研究范围。为了保证现代微电子技术的持续发
展，封装领域的研究范围已经覆盖了光电子学、光波导和光纤合成
、（生物）微流体技术、连接技术、热管理技术、导线键合技术、
晶圆键合技术、倒装芯片键合技术i焊接和封装技术、箔电池和能
量捕获技术、固体的数学建模技术和模拟技术等领域。这些领域在
此文回顾的许多出版文献和年度报告中已经提及。
  金属纳米线对几乎每个领域的封装，都有重要意义，因为与中
尺度材料和体材料相比，它有很多独特的性质。人们已经设想把金
属纳米线作为接口，来实现未来的微电子应用向3D纳米结构一体化
的发展

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