电子显微镜的物镜、中间镜及投影镜

电子显微镜的物镜、中间镜及投影镜-分辨率与波长

物镜、中间镜及投影镜统称为成像系统。最近的电子显微镜也有四
级、五级透镜的，但是基本形式是这种三级透镜，其他的透镜是以
像差，放大倍数等辅助措施为目的的。

  试样室
  试样室安装有气锁机构，以便将试样放入真空中。最近的装置
中，为了更快地进行试样的更换，也有能放置6～8个试样的试样室
，可以自由地选择试样进行观察。试样室中重要的是试样的微调装
置。电子显微镜的分辨率为l埃，拍摄这样高分辨率的照片时的曝
光时间需要10秒以上。也就是说，必须有一个先决条件，开动试样
微调装置时，平稳起动后停止，在10秒钟内连l埃的移动都不允许
。这与透镜的像散一样．是一种十分重要的机构。拆开试样室清洗
时也应该注意到这一点。

  上述的是过去类型的试样室。称为顶装式的试样室。最近使用
的从物镜磁极的横方向将试样插入的侧装式。这种型式的试样宣对
于X射线分析是必需的。也就是说，为了进行几百埃的微区X射线分
析，必须把电子束缩小到与它相同的尺寸。这种方法，仅加强上述
的第一会聚镜的激磁是不够的，而是要加强物镜激磁+并将其前磁
场作为第三会聚镜使用。因此试样的位置必然靠近物镜中心的部份
，而侧装的试样室，便能把试样置于满足这种条件的位置上。
  分辨率
  光学显微镜的透镜中有各种像散，它是用几组玻璃透镜组合的
方法来修正这种像散的。然而。最后决定分辨率的是受光的波长所
限制的衍射像散。把光学显微镜下可分辨的两点间的最小距离定义
为分辨率

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)