日媒：日企原型机100毫米氧化物钇制程 将于本年内开始储备

据日经中文网6月16日报道，由日本电子零部件企业田村制作所和AGC等出资成立的Novel Crystal Technology在全球首次成功量产以新一代功率半导体材料“氧化镓”制成的100毫米晶圆。将于2021年内开始供应晶圆。客户企业可以用支持100毫米晶圆的现有设备制造新一代产品，有效运用过去投资的老设备。

报道指出，在日本政府的半导体战略中，功率半导体被视为日本企业保持国际竞争力的领域之一。功率半导体材料目前处于过渡期，现在的主流材料是硅，碳化硅（SiC）和氧化镓等材料的开发不断推进。此次成功实现晶圆量产化的氧化镓有望在相关竞争中占据优势。

报道还称，这次氧化镓成功量产对客户企业也有好处，由于可以用支持100毫米晶圆等的现有设备来生产半导体，能够控制住设备投资。日本半导体厂商拥有过多的老式生产设备，这些设备有望得到有效利用。此外，Novel Crystal Technology还计划2023年供应150毫米晶圆。

根据Novel Crystal Technology官网介绍，该公司于2019年成功开发出高质量2英寸（50.8毫米）氧化镓外延片，并于2019年初开始生产销售。但由于成本不相匹配而没有功率器件的量产线，该晶圆的用途仅限于研发。这次，该公司成功开发高品质β型氧化镓100mm外延片，这使得在100毫米生产线上制造氧化镓功率器件成为可能。