设计精密微机械电子技术

设计精密微机械电子技术-用于微零件的软件应用

  ·能够提供高效的用于微零件的软件开发工具；在计算机上完
成结构的开发、模拟和优化，避免不必要的过程；
  ·将计算机上设计的结构通过光刻法传送到基底上，充分利用
组装密度高的优势，减小结构的尺寸；
  ·通过对生产过程的精确监控，大大缩小批量制造的误差范围
；
  ·研发几种设计精密的基本结构，这些结构应具备组装密度高
、结构微小的优点，以便在相同的基底上可以有效地扩展，并且通
过米用合适的连接技术司以集成为一个智能化系统，这种方法将导
致传感器和执行元件设计思想的根本变化，进而会影响到精密工程
和机械工程的发展。
  尽管微结构技术与微电子技术的生产过程紧密相关，但是仍需
要研究将微结构发展到三维的方法
  硅材料微机械技术，在任何一方面都依赖于微电子技术。二者
不仅具备相似的制造过程，而且单晶硅同时也是微结构的基本材料
。，通过各向异性的蚀刻过程得到三维结构，在该过程中可以将单
晶硅乎整为要求的形状，利用特殊的蚀刻方法，对应晶体的结构，
从单晶硅上各向异性地去除材料。
  利用硅氧化物或硅氮化物掩模，对部分硅表面进行蚀刻，不同
的晶体表面以不同的速度蚀刻。晶体中可以加入人工层作为附加的
蚀刻阻塞层。利用合适的掩模、蚀刻阻塞层，采用各向同性和各向
异性的蚀刻方法，可以将硅片制成三维结构，从而形成传感器或其
他任何元件的基本组成结构。硅材料微机械技术的独特优势在于，
可以在同一基底上安装微结构体(比如传感器结构)和适当的计算电
路。

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