电子图像检测可提供比光学显微镜更高分辨率

电子图像检测可提供比光学显微镜更高分辨率

使用电子显微分析方法分析金属材料试样，就是利用电子束和
试样相互作用后，所发生的几个“事件”。

 总之，二次电子信号主要是用于确定表面
形貌，并提供断口表面的图像。已经浸蚀的金相试样也可使用二次
电子图像进行检测，可提供比光学显微镜更高的分辨率。背散射电
子信号提供了很好的原子数对比，

可用于评估局部的成分差异。许多现代扫描电子显微镜允许混
合使用二次电子信号和背散射电子信号，同时提供断口形貌和成分
信息。最后，电子束和试样作用后所产生的x射线可用于成分的半
定量分析。虽然x射线的成分分析结果不如电子探伤微观分析的成
分那样精确，但用x射线收集到的信息，鉴别相和化合物时会很有
用。x射线分析的分辨率限定在1～2μm，这种方法不适用于精确分
析轻元素(如C、0、N)，除非在设备上配备一个特殊的探测器。

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