微电子电路与微结构焊接焊点检测金相显微镜

微电子电路与微结构焊接焊点检测金相显微镜

  尺寸的特殊性决定了力学环境的特殊性。在微米尺度下，相对
宏观状态，其力学环境发生了很大的变化。有些在宏观尺度下很重
要的力，在微米尺度下变得不太重要了，如体力；而有些在宏观尺
度下不很重要的力，在微米尺度下却变得很重要，如面力。从力学
的研究发展看，人们既以极大的努力和成就发展了经典的宏观力学
，也以极大的贡献推动了微观量子力学的进步。但微米尺度却被忽
视了。微机电系统技术的发展使我们不得不面对微米尺度力学的问
题。先前的做法通常是直接移植宏观经典力学的理论和方法。然而
这样并不能反映微米尺度下的真实特性。实践表明，微米尺度下，
既有特殊的力学环境，也有明显的尺度效应。因此，阐述微米尺度
下的特殊力学特征、特殊的力学规律及特殊的力学分析方法是很重
要的。

  微米世界毗邻纳米世界，而分子的尺寸大约在0．1nm量级。虽
然微米世界仍属物体世界，并未触及到物质的结构(如分子、原子
、基本粒子等)，但分子等的作用效应，特别是大量分子(构成物体
)综合的作用效应却会波及到微米或更大的尺度。因此，为了充分
认识微米尺度的力学特征，既要以宏观的应用为背景，又要以微观
的特性为基础。

  进入微米世界最早的技术领域是微电子技术领域。微电子技术
的发展推动了微加工技术的进步。微加工技术的进步又导致了微机
械的出现。微机械技术与微电子技术的很快结合诞生了微机电系统
(Micro Electromechanieal System，MEMS)，微机电系统的出现真
正引发了微米技术的革命。尽管早先的称呼不都是微机电系统，如
有微机械系统、微系统等，但其含义都是一样的，也都是很宽泛的
。凡是以微加工工艺技术为基础，微电子电路与微机械(微结构)有
机结合，关键尺寸在亚微米到亚毫米之间，具有或完成信息感知、
信息处理、系统控制、能量交换、动作执行等

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