微机电技术的应用

微机电技术的应用-物质是由基本粒子组成的

  宏观系统有很好接口和联系的系统都可称为微机电系统。微
米尺度的力学既不是仅限于微机电系统的背景，更不是微机电系统
技术的全部。但鉴于微机电系统的含义很宽泛，而当前微米尺度的
力学的背景也主要是微机电系统。因此，姑且将这一微米尺度的力
学称为微机电系统力学。
  按照人们当今的认识水平，物质是由基本粒子组成的，其物理
的基本力有4个，即弱相互作用力、强相互作用力、电磁力及引力
。其中弱相互作用力和强相互作用力是短程力，从作用行程角度对
于微米尺度来说可以忽略。引力是长程力，但其对质量的依赖很强
。只有在质量很大的情况下，引力才比较明显。在微尺度下，其量
级又比电磁力小许多数量级。因此，对微机电系统来说，从数量级
的角度玛l力也是可以忽略的。可以看出，从物理基本力的作用和
影响看，在微机电系统环境中电磁力的作用是最主要的作用。
  根据作用力性质的不同，有些力以表面作用形式为主，有些力
以体积作用形式为主，也有些力以线作用形式为主。微米系统相对
宏观系统，其整体三维尺寸都同时收缩，但从量级上看，体积的收
缩最快，面积的收缩次之，线的收缩最慢。因此，在同等力密度情
况下，随着尺度向微米尺度的减小，体力变得越来越微弱，面力次
之，线力变得越来越明显。
  可以看出，微机电系统虽然在几何上可能是宏观系统的等比例
缩小，但各种特性并非简单相似。几何上的缩小，不仅引发了尺度
的改变，更主要是引发了系统力学环境、力学特性、力学行为、力
学规律等的变化。正是这种变化导致了微机电系统特殊的力学特性
和规律。因此，我们期待通过本书为研究者搭建一个讨论和分析的
平台。

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)