理想材料折射率与表面误差质量检测显微镜

理想材料折射率与表面误差质量检测显微镜

  ·理想材料折射率门与表面误差占z，和如。的乘积；
  ·材料折射率的公差值与理想表面函数z，和z：的乘积。
  很明显，加工公差值和材料公差值对波前相位公差的影响相同。
  制造与测量误差
  在加工过程中，会引入加工误差，包括光学元件表面与面形函数
设计值间的面形误差，所选择材料的折射率与材料库中材料折射率的
偏差a7行。将这些误差添加到测量误差中，就形成了期望加工误差的
预测值。

  设计人员利用加工误差可以计算出波前的相位偏差，，然后与
设计的相位容限值泐h，比较，如果加工误差值比设计值大，通常
情况下这个透镜就是废品。但是，如果这个透镜比较贵重，也可以
采用以下几种方式进行处理：
  ·由于系统中其他透镜具有更好的性能，补偿此透镜的不足；
  ·此透镜可以通过重修实现预期性能；

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