陶瓷制作电子元件烧渗工艺样品分析显微镜

陶瓷制作电子元件烧渗工艺样品分析显微镜

  电极制备
  用陶瓷制作电子元件，必须有电极，常常把银电极浆料，涂布
于试片的上下表面，再经高温(500～600℃)烧渗工艺，在瓷片上形
成银白色导电银层，以供通电之用。施加电极的方法有多种：烧银
电极、化学镀镍电极、喷铝电极、喷铜电极、溅射银电极、蒸发金
属电极等。
  电极质量优劣，直接影响使用效果。例如打火机用的压电点火
元件或喷雾设备中用的压电超声元件，如果电极不过关，多次打火
冲击下，电极损坏，就不能点火。喷雾设备例如假山中人造喷泉，
本来可喷几十公分高水柱，但多次喷射后越喷水柱愈低，最后喷不
出来了，这是由于多次超声喷水，银电极在剧烈振动中脱离陶瓷之
故，所以超声用压电元件电极和瓷体，必须特别牢固粘合，这和银
浆中玻璃相组成关系很大。有时电极各处的厚薄分布不均，通电时
薄层处电流密度过高，使局部电极烧毁。这种局部温升，可引起瓷
体内微裂，再加上电场分布不均，会增加击穿的几率。在丝网印刷
或火焰喷铝电极的边缘，如果出现参差不齐，有毛刺，将易于造成
打耐压时的边缘跳火及短路。电极层的厚度，对材料性能也有影响
，例如PTC元件的阻值经时老化，就与它有关。不同应用场所，使
用不同的电极。对于半导体瓷，不能使用一般的烧渗银电极，因为
金属层和半导体之间，会产生中间接触电阻，数值可达千欧姆。这
是由于n型半导体表面吸附氧分子后，氧分子与半导瓷表面层中电
子，产生化学吸附，使这些充当载流子的电子被氧俘获，使载流子
浓度减少，产生正空间电荷区，构成高阻层。

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