喷墨打印技术

喷墨打印技术-印刷电子品制备分析图像显微镜

  虽然打印生物材料的系统和技术发展迅速，并且能制备功能化的材料
。接触打印技术，光刻技术能打印出纳米级分辨率的单层或者  印刷电
子品作为一种喷墨技术的潜在应用，受到了广泛关注。从概念上讲，印刷
电子品的目的是为了用印刷技术取代传统的光刻半导体生产技术。预期利
用印刷技术能在塑料以及钢箔等廉价的、可弯曲的基底上生产简单的半导
体系统，且极大降低成本。

  随后，总结适用于喷墨印刷的电子材料的分类。最后，讨论印刷电子
设备和电路的制备方法。基于这些讨论，对印刷电子品的前景作出展望。

  从根本上来说，全球范围内对于印刷电子品的关注主要区I为印刷是一
种普遍的技术。喷墨打印为不同的电子材料在特定位置的沉积提供了一种
低成本的途径。这对于电子系统的成本具有特别重要的意义。
  传统的电子系统一般是利片J删减式光刻工艺制作。I]在任意电子材料
中(如导体、二极管或者半导体)构建图案的过程一般如下：(1)在基质层上
沉积电子材料，沉积通常采用真空条件下的化学气相沉积或者物理气相沉
积；(2)随后基底用光刻胶涂覆；(3)光刻胶通过掩膜暴露于光刻系统巾；(
__1)光刻胶在基底的掩模区域显影用于移除抗蚀剂；(5)利用湿化学法或干
刻蚀法(如等离子)刻蚀去除沉积的薄膜；沉积的薄膜只在先前光刻胶被显
影移除的区域被刻蚀；(6)将剩余的光刻胶剥离使薄膜暴露；(7)最后。将
基底清洗移除光刻和刻蚀过程中的残余杂质。这七个步骤的掩膜和刻蚀过
程重复多次，最终得到复杂的没备和电路。

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