美国Microsense位移传感器特点:
1、高准确性,高灵敏性测量,高精度可达0.5nm。
2、优化的近距离测量 测量距离在10微米到5毫米。
3、完全非接触式电容式微位移测量准确的电子感应技术,无损样品测量。
4、可探测任何可传导性、接地的测量目标 表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响。
5、用途广泛:金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Radial,Spindle runout),精密仪器工作平台定位,设备自动聚焦测量(微影设备,原子力显微镜,光罩探测,图像确认,LCD生产设备 )