基板甩干机内如何维修保养

1、保证硅片甩干机可靠接地。

2、检查所有进出排水阀是否正常。

3、检查控制面板上的各种操作按钮，如有损坏及时更换。

4、检查各个电气柜进出线螺丝是否松动，并及时进行紧固。

5、检查及清洁电气原器件，避免造成漏电及局部短路，接触不良。

6、检查管路是否有泄漏，若发现异常情况通知相关设备维修人员进行处理。

7、可用百洁布将甩盘下及周围的锈迹清理干净。

8、可用无尘纸沾用酒精将腔内、甩盘及周边清理干净。

9、使用完毕后切断硅片甩干机设备的电源。