用以测量管路中流体流量(单位时间内通过的流体体积)的仪表被称为流量计。由于测量原理、流体性质和流量状态不同,流量计种类繁多,目前常用的的有转子流量计、节流式流量计、细缝流量计、容积流量计、电磁流量计、超声波流量计和堰等八大种类。
青岛芯笙微纳电子科技有限公司(以下简称:青岛芯笙微纳)是一家专业从事新型智能MEMS传感器芯片设计、模组和仪表开发,以及测试标定和销售于一体的科技型企业。青岛芯笙微纳创始团队成员来自海外 MEMS 技术研究单位以及国内大型仪器仪表公司,具有丰富的 MEMS 芯片设计、传感器模组和仪器仪表开发等经验。同时,青岛芯笙微纳与新加坡科技局微电子研究院、上海微技术工业研究院、瑞士 Axetris公司等单位建立了长期的战略合作关系,与山东大学和北航微电子研究院在新型MEMS传感器芯片开发方面也保持着密切合作。
目前,青岛芯笙微纳专注于 MEM流量传感器芯片、流量计、质量流量控制器、数字风速计等气体流量检测芯片和模组的研发和销售,相关流量计及控制器产品被广泛应用于气体检漏、气体分析仪、实验室、计量院、热氧化炉、扩散炉等领域,以及消费电子和汽车电子厂商。
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紧凑型流量控制器
紧凑型流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内先进的微机电(MEMS)流量传感器芯片技术,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。操作使用方便,可任意位置安装,广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。输出信号可选择:4-20mA和1-5V模拟信号,以及RS485等数字通信方式。
MFD系列 大量程低功耗传感器微系统模组
Xinnovis MFD系列大量程低功耗传感器微系统模组产品是采用先进MEMS流量传感器芯片,结合32位高速数字处理电路、算法以及金属或注塑的旁通流道和本体设计,所形成的大量程、高可靠的传感器微系统模组,具有低功耗(典型80mW)、大量程0-300升/分钟、快速响应5ms等优点。该产品基于公司自主研发的高性能MEMS流量传感器芯片以及核心标定算法技术,配合多种不同流道设计、不同形状、不同材质,形成可用于多种场合的高可靠性流量传感器模组。