购置新型仪器设备有助于学校实验室装置更为完善,继而能为全校师生的教科研活动提供更精密的技术支撑。近日,为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,浙江大学2021年4月政府采购意向公开。
序号
采购单位
采购项目
采购品目
采购需求概况
预算金额
预计
备注
名称
(万元)
采购日期
1
浙江大学
电子束曝光机
A02100305
详见项目详情
1200
2021年4月
详见项目详情
2
浙江大学
电子束蒸发镀膜机
A02100305
详见项目详情
105
2021年4月
详见项目详情
3
浙江大学
等离子体刻蚀机
A02100305
详见项目详情
250
2021年4月
详见项目详情
4
浙江大学
5G+北斗超高精度系统接收机阵列及数据采集软件
A02070801信标接收机; A0201080302行业应用软件
详见项目详情
355.5
2021年4月
详见项目详情 采购意向公告显示,浙江大学预算1910.5万元采购电子束曝光机、电子束蒸发镀膜机、等离子体刻蚀机、5G+北斗超高精度系统接收机阵列及数据采集软件。其中,电子束曝光机要求具有电子束直写功能,可以多层套刻,也可与接触式光刻机配合进行混合光刻,以便在大尺寸器件上制作微纳精细结构;等离子体刻蚀机要求采用电感耦合等离子体工艺腔式、腔壁电加热、下电极具有冷却/加热功能、至少600w RIE微波电极并带自动阻抗匹配网络。