TGS300超环面光栅摄谱仪专为研究分析真空紫外光谱而开发设计。TGS300可在像面形成二维平场,配合阵列探测器实现真空紫外光谱范围内的一次性全谱采集。安装XY平台上的标准DN100CF法兰接口,可以方便地调整和优化阵列探测器的中心波长和聚焦特性。
技术特点
单片式光学结构确保光通量大化,高光学稳定性。
HJY的超环面光栅技术,全光谱范围内优异的消像差能力。
超长的40mm光谱长度,横向滑动CCD测量更宽的光谱,纵向滑动CCD优化成像质量。
光谱覆盖低至10nm,10-30nm具有超高分辨率。
支持超高真空度10-9mbar,可接入同步辐射装置。
典型应用
紫外和紫外等离子体光谱分析
紫外光源表征
激光高次谐波研究
EUV光源表征
技术指标
产品简介