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超声波扫描显微镜,英文是:Scanning Acoustic Microscope,简称SAM,由于它的主要工作模式是C模式,因此也简称:C-SAM。现在做失效分析的第三方实验室里,这个设备直接被通称为C-SAM,就像X射线透射机被通称为X-Ray一样。
上个世纪的90年代中,微电子器件的大规模生产制程中,发现IC的Die上下表面脱层,锡球/芯片裂缝、或填胶中的裂缝、封装材料(很多塑封材料) 内部的气孔等缺陷,无法用常规的X-ray失效分析手段检测到,此时,一种新型的测试技术被引入到芯片的后封装测试领域,它就是超声波扫描显微镜。说是显 微镜,其实它与常规的光学显微镜两者没有任何关系,只是因为这个设备最早是由国外厂家先行研发并投入到生产领域,这个名字也是直接从外文直译过来,因此中 文严格可以称为:中高频超声波无损检测系统,或许更为合适。