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ODiS是一种高精度的半导体激光位移传感器，该传感器采用Fizeau干涉原理，用于在工业和科研中进行线性位移的测量。新颖的测量方法和高度集成的小型化，使得该产品可以给客户带来无与伦比的性价比。在线性运动中，实现从亚微米级到1m的测量范围内高精度的测量，最高位移速度可达1m/s。该传感器可以非常方便的集成到客户的应用系统中，并通过EtherCAT与数控系统相连。 伴随着将光、机、电系统集成最小化的发展趋势，对于装配过程精度要求在不断提高。装配过程中需要应用精密机械，而精密机械本身也需要被精密的加工、装配。在工业自动化（汽车工业）、精密加工、传感和驱动技术所需的亚微米级精度的器件中，高精度光学位移传感器ODiS可以成为其中的一个重要解决方案。 技术指标: 测量范围1米 信号周期317.5纳米 运动速度1米/米 分辨率(差值) 0.039纳米 总测量不确定度 0.6纳米/米(在环境补偿条件下) 重量 550克 在工业科研领域，该激光位移传感器可广泛应用于，单轴或多轴位置驱动中高精度的长度/位置测量： 制造和测量设备（如半导体工业） 超精密机床(如金刚石车床，超精密铣床等) 精确激光制造系统 坐标测量机和比较仪 测量显微镜 在工业和研究领域，应力应变传感器（如轮廓仪，磨耗仪，硬度试验压头，附着力测量） 通过目镜对真空系统中被测件进行精确尺寸测量