铼雷射镀膜机 (OPC)OPC60A 基本型

产品简介：

锇等离子镀膜机 (OPC) 是一种基于直流辉光放电的等离子镀膜设备。OPC 采用了全新的四氧化锇气体 PCVD方式获得锇膜。不同于传统的溅射和蒸镀，OPC 很好地解决了薄膜的颗粒及热损伤问题。

OPC 可以实现自动化操作，用于给 SEM、FE-SEM 样品镀导电薄膜或是给 TEM 样品镀支持膜。镀膜厚度从几纳米到几百纳米，甚至是 1 纳米以下的超薄膜。

OPC60A 标准型

可自动生长锇膜

阴极样品台尺寸：直径 60mm，以下任选其一：
兼容直径 10mmSEM 样品托，7 孔位
兼容直径 15mmSEM 样品托，4 孔位
兼容直径 36mmSEM 样品托，1 孔位

OPC80T 高配型

可自动生长锇膜和萘膜

可自动生长锇膜和萘膜

可同时容纳 2 个直径 10mm 的 SEM 样品托，2 个直径 15mm 的 样品托，以及 1 个直径 32mm 的样品托

锇存储器

锇存储器带观察窗，可确定锇的剩余量。

存储器可单独取下并密封（冷冻保存），可保存较长时间，安全性很高。

应用：

SEM、FE-SEM 样品镀导电膜

TEM（FIB）样品镀保护膜

AFM 样品镀保护膜

STM 样品镀保护膜以及导电膜

TEM 样品镀支持膜

产品特点：

设备性能

自动化控制，镀膜时只需设定薄膜厚度，镀膜过程自动完成

锇存储器可拆卸：具有密封式结构，可冷冻保存

镀膜时间短：只需几秒钟膜厚就可以达到纳米级

装有互锁回路：一但 OsO4 气体进入腔体，真空不达标，腔体就无法打开

锇导电薄膜性能

无颗粒：用 OPC 镀的锇导电金属膜是完全无定形的

锇膜均匀性极高

无热损伤：相比于热蒸镀和离子溅射，OPC 对样品没有热损伤

无电子损伤：锇膜硬度高、熔点高，不会因强电子束流受损伤

无污染：样品在阴极，表面只有锇阳离子，可以保证无污染

等离子体聚合萘膜性能

坚韧性：薄膜具有坚韧性，可承受 FIB 中的镓离子

抗热性

绝缘性

无颗粒

高均匀性

无热损伤

无电子损伤

产品参数：

型号

OPC80T

OPC60A

反应腔

钢化玻璃腔体: 160mm(OD)x105mm(H)

钢化玻璃腔体: 120mm(OD)x73mm(H)

镀膜厚度

几纳米到几十纳米

兼容SEM样品托

可同时容纳2个直径10mm，2个直径15mm，以及1个直径32mm的SEM样品托

可容纳7个直径10mm，或4个直径15mm，或1个直径32mm的SEM样品托

镀膜种类

锇(OsO4)

萘(C10H8)

锇(OsO4)

锇存储器

带观察窗，可拆卸，可密封、冷冻保存

萘存储器

可拆卸, 带观察窗

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气体导入

OsO4安瓿瓶在OsO4存储器中被打开，OsO4升华之后进入反应腔体。

C10H8保存在C10H8存储器中，升华之后进入反应腔体.

OsO4安瓿瓶在OsO4存储器中被打开，OsO4升华之后进入反应腔体。

电源

AC100V 2A 200W(50/60Hz)

AC100V 2A 200W(50/60Hz)

外部尺寸

450(w)x410(D)x390(H)mm

450(w)x350(D)x330(H)mm

重量

约30kg

约20kg

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注：对于医疗器械类产品，请先查证核实企业经营资质和医疗器械产品注册证情况