清华大学总体布局光刻机 助力行业抛弃“卡脖子”结局

众所周知，在9月15日之后，华为已被全面断供。浓浓的情绪之下，中科院作为中国研发硬实力宣布牵头研发光刻机。中科院布局光刻机和卡脖子相关技术的消息，一经发出便引发了业界的欢呼。

9月16日，根据媒体报道，中科院院长白春礼接受采访时表示：“未来中科院将集结全院之力攻克光刻机、关键材料等重点技术，帮助国内科技企业摆脱被西方国家卡脖子的命运。”

虽然，光刻机技术落后，特别是EUV极紫光刻机落后是事实。但事实上，光刻机产业并不是从零开始的。

2019年，上海集成电路峰会上，国家集成电路创新中心总经理张卫向透露的“中国集成电路技术路线图”中的六大内容中，就包括了先进光刻工艺发展趋势的这一项。

另外，国内光刻技术早已达到65nm水平，甚至更高水平的工艺的消息频繁流出。

今年7月，中科院方面公布了一种5纳米工艺的激光光刻技术，2019年12月份，中科院还公布了一项新型垂直纳米环栅晶体管技术。

可以说，在先进技术，特别是光刻机上，中科院一直是在努力之中的，只不过是背后默默的英雄。

21ic家认为，国内最大的研究所加入到光刻机的研发，不仅拥有最好的人才和研发资源，还具有最好的牵头作用。

众所周知，虽然光刻机一直在卡脖子，但要知道光刻机也拥有自己的产业链，包括镜头、激光、光刻胶材料、测试测量都是必备的环节。当然，中科院也明确表示将会将卡脖子的技术都列入可研清单之内，因此中科院的未来研究成果非常值得期待。

[来源：中国电子网 ] 中科院卡脖子光刻机华为EUV