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产品介绍：
反应舱：
材料：铝
有效尺寸：400 x 400 x 400mm
容积：64升
舱门：装有可视窗口
托盘：4个。尺寸：305 x 360 x 40mm
真空度测量：
皮拉尼真空计（利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关）
真空泵：
旋片式真空泵；30m3 每小时；含真空泵油。
频射发生器：
0~600w可调，100KHZ发生器
控制系统：
触摸屏操作，PLC控制系统
PLC可实现下列功能：
1、自动控制反应过程；
2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程；
3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；
4、监测所有的运行指标，保证在设定范围之内；
5、 设定操作、维护密码。
电源：
380V AC、三相、50Hz、40A.
反应气体：
一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）；根据用户需要，可扩展
气体输入：
直径1/4英寸（0.645厘米）管道；输入压力：1Bar.
尾气排放：
直径28mm 输出端口。
安全性能：
急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全认证。
可选件：
300 m3/小时 的机械增压泵
频射发生器：2.45GHZ, 13.56MHZ
多个气体输入管道。
根据客户工艺要求制作的软件程序
根据客户要求制作的托盘。
辊轮式载料系统。
N2 Purge.
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