结合绝缘样品和薄膜样品XPS分析中的特点,解读国家标准GB/T 25185-2010表面化学分析 X射线光电子能谱 荷电控制和荷电校正方法的报告,GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告,GB/T 25188-2010硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法。
2020-05-08 第四届“表面分析技术应用论坛——表面分析技术在新材料研究中的应用”暨“表面化学分析国家标准宣贯会” 【摘要】
结合绝缘样品和薄膜样品XPS分析中的特点,解读国家标准GB/T 25185-2010表面化学分析 X射线光电子能谱 荷电控制和荷电校正方法的报告,GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告,GB/T 25188-2010硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法。