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GaAs安oxford安instruments GaAs/AlGaAs安抛光单晶/硒化铝钇_-珠海市美佳特生物科技控股

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放大字体  缩小字体    发布日期:2021-01-26  来源:仪器网  作者:Mr liao  浏览次数:62
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oxford-instruments GaAs/AlGaAs-刻蚀砷化镓/砷化铝镓刻蚀GaAs/AlGaAs-刻蚀砷化镓/砷化铝镓使用PlasmaProTMSystemRIE100 刻蚀GaAs/AlGaAs推荐刻蚀气体:SiCl4-Ar推荐使用的等离子体清洁气体:O2-SF6晶片大直径200mm 刻蚀速率50-150nm/min (依赖与批处理的数量) 均匀性

 
 
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