GaAs安oxford安instruments GaAs/AlGaAs安抛光单晶/硒化铝钇_-珠海市美佳特生物科技控股

keysight N1092A,86100D/C/B/A, 86105D/C/B/A,86107A,YOKOGAWAAQ6370D/C/B/A,示波器,光谱仪,光通信仪器 您所在位置：深圳市美佳特科技有限公司  GaAsoxford-instruments GaAs/AlGaAs-刻蚀砷化镓/砷化铝镓  

oxford-instruments GaAs/AlGaAs-刻蚀砷化镓/砷化铝镓刻蚀GaAs/AlGaAs-刻蚀砷化镓/砷化铝镓使用PlasmaProTMSystemRIE100 刻蚀GaAs/AlGaAs推荐刻蚀气体：SiCl4-Ar推荐使用的等离子体清洁气体：O2-SF6晶片大直径200mm 刻蚀速率50-150nm/min (依赖与批处理的数量) 均匀性