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英国AJA PA FLAGSHIP前传磁控溅射镜片控制系统vs岩屑镜片,英国AJA,岩屑靶材,俯瞰生物科技,液压vs储备讯息vs91化学工业仪器网

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放大字体  缩小字体    发布日期:2021-01-26  来源:仪器网  作者:Mr liao  浏览次数:84
核心提示:AJA致力于研发生产薄膜沉积系统,包括磁控溅射系统,电子束蒸发系统,热蒸发系统和离子束刻蚀系统。1989年William Hale在美国马萨诸塞州创立了AJA这个品牌,开始是以物理气相沉积产品供应商问世。随着越来越多的系统和磁控

AJA致力于研发生产薄膜沉积系统,包括磁控溅射系统,电子束蒸发系统,热蒸发系统和离子束刻蚀系统。1989年William Hale在美国马萨诸塞州创立了AJA这个品牌,开始是以物理气相沉积产品供应商问世。随着越来越多的系统和磁控溅射源畅销世界,AJA国际公司不断突破自己,发现更多创新设计解决方案。其中一些方案一直被模仿,但从未被超越。AJA始终保持着薄膜技术领域的前沿地位。

 

美国AJA公司中国区总代理--重庆眺望科技有限公司

 

AJA国际公司的ATC Flagship 系列溅射镀膜系统,用途广泛,可以通过不同的配置来实现不同的需求。

 

所有产品基于AJA独有的A300-XP (UHV)超高真空或Stiletto 系列 (HV)高真空磁控溅射源,这些溅射源可以原位偏转,因而可以实现精确的,可重复的共聚焦溅射沉积,直流溅射沉积,以及离轴溅射沉积。大型系统需要配备重型液压起重机来打开腔体上盖 上盖摇臂到起重机zui大行程的两侧。中型或小型系统通过一个带气震装置的铰链来打开腔体。

 

以下系统腔室尺寸可供选择:

? ATC 1800 (18"  ) 

? ATC 2200 (22"  )

? ATC 2600 (26"  )

 

基片架尺寸范围,直径1" -10" 不等,可加热至1000 C和/或可从室温冷却至液氮温度。磁控溅射源尺寸从1" -12"直径不等,同时有矩形,三角形溅射源供选择。

AJA公司的系统可以集成多种沉积方式,如电子束蒸发,热蒸发,克努森蒸发池(分子束外延系统),脉冲激光沉积,离子束辅助沉积,对靶磁控溅射,光罩接触系统,手套箱,自动批量装载系统,RHEED, 俄歇分析系统,以及残余气体分析系统等。

可根据应用需求配置基于Labview的电脑控制和涡轮分子泵或低温泵。所有ATC系统之间是可连接的或者是和ATC Orion系统的多腔(例如,金属氧化物)或多技术(例如,溅射蒸发PLD研磨)装置连接。

 

致电可获更多详情。

 
关键词: nbsp 系统 溅射 AJA 沉积
 
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