HVA 三位真空闸阀 21700 系列

美国 HVA 三位真空闸阀 21700 系列
HVA 三位真空闸阀 21700 系列适用于刻蚀、 CVD、真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业。HVA 三位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时，提供异常压力控制功能，该真空闸阀也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡。HVA 三位真空闸阀采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式：一个电磁阀控制阀门的完全关闭和完全开启，另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置。21700 系列三位真空闸阀广泛应用于低温泵、涡轮分子泵、离子泵及其他对清洁度要求高、低除气的高真空行业。.
HVA 三位真空闸阀 21700 系列产品特点
1. 机械预设、遥控过渡阀位
2. 三个位置都有指示器
3. 标准或者定制法兰
4. 至少一百万使用周期
5. 任意位置安装
HVA 三位真空闸阀 21700 系列技术参数：