DREEBIT 离子辐照装置 -S
IIF-S 是 DREEBIT 标准离子辐射设备中最紧凑的一款, 可以配备 DREEBIT EBIS, EBIT 离子源. 根据离子源的工作模式, 连续的离子束或离子脉冲通过离子光学元件(EnZeL 透镜,偏转器), 离子束诊断(法拉第杯)在光束线中传输. 离子种类通过 Wien 滤波器实现分离. 通过计算机操作 IIF-S 的命令控制系统并对产生的离子谱进行自动分析.
DREEBIT 离子辐照装置 -S 技术参数
电话:+86-21-5046-3511
邮箱:ec@hakuto-vacuum.cn
地址:上海市浦东新区
新金桥路1888号36号楼7楼702室
201206
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