考夫曼离子源 RFICP 380

考夫曼离子源 RFICP 380 特性:
1. 放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长.
  2kW 1.8 MHz, 射频自动匹配
2. 离子源结构模块化设计
3. 自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行
4. 栅极材质钼和石墨,坚固耐用
5. 中和器 Neutralizer, 测量和控制电子发射,确保电荷中性
6. 通气 Ar, O2, N2, others
7. 离子束流: 电流: 500毫安, 能量 100-1200eV
考夫曼离子源 RFICP 380 技术参数