Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵
上海伯东代理美国 Brooks 旗下 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷冻机，利用低温冷媒(-100度)通过盘管，将水蒸气吸附在冷盘上，快速吸附占真空腔内残留气体 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 4000 H 冷冻机抽水气效率高达 220,000 l/s，在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，目前 Polycold 冷冻机主要应用于半导体和真空镀膜行业，客户通过使用 Polycold 水汽深冷泵，产能可增加 20% 到 100%。MaxCool 4000 H 深冷泵提供单管路和双管路配置满足您的不同应用，可搭配伯东德国 Pfeiffer 分子泵，罗茨泵，干泵和美国 KRI 考夫曼离子源共同使用。冷冻机 Polycold  MaxCool 4000 H 是旧款型号PFC-1102 HC全新升级款！~
Polycold 冷冻机应用：
Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒，可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比，冷媒可循环使用，大大降低了企业成本。Polycold 冷冻机主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀)、半导体(晶圆加工)行业。
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵优点：
低温范围：-98 至 -133C
真空抽气时间缩短 75%
高效的抽水汽效率：327,800 到 220,000 l/s
产品产量提高 20% 到 100%
在工艺过程中降低水蒸汽的分压力，从而获得更高质量、更好的附着力、和多重沉积膜特性
相对于液氮制冷 LN2，Polycold 冷冻机选用无毒、环保型冷媒，可循环使用
低功率，低能耗，最大负载 4000 W
Polycold MaxCool 冷冻机组成：

A：Polycold 冷冻机主机（铜环和轮子可以选配，方便运输）
B：外部冷凝管(外部连接管)
C：Feedthrough
D：真空腔
E：冷盘(低温盘管)
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技术参数：