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电压输入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 单相 ( 3200W )输出： 0 - 8VAC （可调）zui大电流： 400A （可调）zui大功率：4000W（包括真空泵）
真空腔体不锈钢腔体：280mm ID. x 375 mm H，腔体内壁做了电抛光处理有一个150mm的观察窗口（采用无氧铜密封圈密封）一个RF-150法兰，便于放入样品。一个KF-40法兰,可与真空泵相连接四个CF-35法兰，便于安装真空计、电极和其他用途备用
真空泵
（点击图片查看详细资料）仪器中包括一台高抽速的涡轮分子泵和前级泵前级泵抽速：600L/S真空度：5.0x10-6 torr（泵开启后40分钟）极限真空度：5.0x10-7 torr（烘烤温度为60-80℃）漏气率：5.0x10-7Pa./S
蒸发加热源 样品台5个水冷电极安装在腔体底部，可支持4个钨加热舟每个钨舟上面安装有可移动的挡板，所以实验时可以防止各物料之间的污染，样品台安装在真空腔体顶部，直径为150mm
样品台可以旋转和加热，旋转速度0-20rpm，加热zui高温度600℃蒸发源与样品台的距离为250mm
测厚仪一个高分辨度的薄膜测厚仪安装在腔体内部测量精度为：1.0
循环水冷机仪器使用过程中需要通冷却水，为了节约用水，强烈建议使用循环水冷机所需水流量 15L/min
控制单元真空、厚度和输入电源控制全部集合在一个控制盒内控制单元和真空腔体独立分开，以便于操作
外形尺寸
L600mm W860mm H1500mm
净重
600kg
质保
一年质保期，终生维护
质量认证
CE认证
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主营产品
等离子镀膜设备,高真空蒸发镀膜仪,双靶磁控溅射仪,3靶等离子溅射仪,射频/直流等离子磁控溅射镀膜仪 以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，91化工仪器网对此不承担任何保证责任。温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
