氦质谱检漏仪吸收式热泵检漏应用

吸收式热泵是一种利用低品位热源，实现将热量从低温热源向高温热源泵送的循环系统。是回收利用低温位热能的有效装置，具有节约能源、保护环境的双重作用。

吸收式热泵在制造过程中，检漏是必不可少的工序。吸收式热泵漏率要求高达 E-11 Pa m/s，一般的检漏仪很难达到这么高的要求，有些进口品牌的检漏仪也能达到，但却不能适应长期高强度测试，而德国普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 是可以同时满足这两点要求的。

某吸收式热泵生产企业由清华大学和上海伯东提供技术支持,企业目前已量产吸收式热泵，并陆续在电力、煤炭、化工等行业取得订单，相应了国家 低碳环保、节能减排 的号召。客户采用真空模式检漏

清华大学的老师以前使用过 Leybold Phoenix L300i 检漏仪，对其他品牌的氦质谱检漏仪也比较了解，所以企业在听取了老师的意见和经过我司工程师的选型推荐技术支持后，选择了德国普发 Pfeiffer ASM 340 氦质谱检漏仪。

ASM 340 氦质谱检漏仪由德国 Pfeiffer 独家设计和制造，其配备的 Pfeiffer 分子泵广泛应用于友厂，如英福康 Inficon UL1000 检漏仪、爱发科 Ulvac Heliot 检漏仪、布鲁克 Bruke 医疗设备、岛津 Shimadzu 分析仪器等。

新款氦质谱检漏仪 ASM 340 特点：
1. 前级泵 Adixen Pascal 2015SD 抽速 15 m3/h

2. 分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦抽速 2.5 l/s

3. 检漏精度：

真空模式：5E-13 Pa m3/s

吸枪模式：5E-10 Pa m3/s

4. 移动式操作面板（有线、无线）

5. 集成SD卡，方便资料处理

6. 抗破大气、抗震动，降低由操作失误带来的风险性

7. 丰富的可选配件，如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等

Pfeiffer 还有干式检漏仪，如配置 Pfeiffer 隔膜泵 MVP 015 的 ASM 340D 检漏仪 ，在半导体行业普遍使用的配置 Adixen ACP 28 干泵和小推车的 ASM 380 检漏仪等。而工作台式检漏仪 ASM 1002 提供可选腔体让诸如电子元件这样的小产品得以快速方便的检漏。