氦质谱检漏仪电子元件检漏应用

上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪电子元器件检漏应用
电子元器件又称电子元件是各类机械设备，仪器仪表的重要组成部分。常见的电子元器件类型包含：电阻、电容器、机电元件、连接器、半导体器件、光电器件、传感器、集成电路等等。上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪现已大量应用于电子元器件生产企业，本文主要介绍电子元器件领域光子型探测器和光探测器的检漏方法。

电子元器件需要检漏原因：
光子型探测器（photon detector），是利用外光电效应或内光电效应制成的辐射探测器，也称光电型探测器。探测器中的电子直接吸收光子的能量，使运动状态发生变化而产生电信号，常用于探测红外辐射和可见光。光子型探测器属于真空电子器件，对密封性的要求极高，如果存在泄漏会影响其使用性能，因此需要检漏。
光通信器件又称光器件，分为光有源器件和光无源器件。光有源器件是光通信系统中将电信号转换成光信号或将光信号转换成电信号的关键器件，是光传输系统的心脏;光无源器件是光通信系统中需要消耗一定的能量、具有一定功能而没有光-电或电-光转换功能的器件，是光传输系统的关节。行业规定光通讯器件漏率合格线 5.0x10-8 atm.cc/s，因此需要氦质谱检漏仪检漏

电子元器件检漏方法
光子型探测器和光探测器的检漏方法可归纳入电子元件类检测方法，即 背压法 。由于电子元件体积小，且无法抽真空或直接充入氦气，而氦检漏又离不开氦气作为示踪气体。这时需要通过一种间接的办法 渗入 氦气，具体做法如下。
1.将被检电子元件放入真空保压罐，压力和时间根据漏率大小设定
2.取出电子元件，使用空气或氮气吹扫表面氦气
3.将电子元件放入真空测试罐，测试罐连接氦质谱检漏仪
4.启动氦质谱检漏仪，开始检测
电子元器件检漏客户案例
1.江苏某大型光子型探测器生产厂商，通过伯东采购氦质谱检漏仪 ASM 340

2.东莞某光磁股份企业，光通讯器件检漏，通过伯东采购氦质谱检漏仪 ASM 340

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