联系我们时请说明是91化工仪器网上看到的信息,谢谢! 产品简介 NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机:先进的全自动溅射系统带有水冷或者加热(Z高可加热到700度)功能的8“旋转样平台,Z大可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过使用RF射频开关,RF射频或DC直流电源可以切换到多磁控管模式。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
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