Pfeiffer 分子泵蒸发镀膜,电子束蒸发镀膜设备应用

应用七:德国普发 Pfeiffer 分子泵 蒸发镀膜设备应用
上海伯东近日成功销售 pfeiffer 分子泵于无锡某柴油机喷油针阀生产商。

蒸发镀膜过程中，从膜材表面蒸发的粒子以一定的速度在空间沿直线运动，直到与其他粒子碰撞为止。在真空室内，当气相中的粒子浓度和残余气体的压力足够低时，这些粒子从蒸发源到基片之间可以保持直线飞行，否则，就会产生碰撞而改变运动方向。为此，增加残余气体的平均自由程，以减少其与蒸发粒子的碰撞几率，把真空室内抽成高真空是必要的。当真空容器内蒸发粒子的平均自由程大于蒸发源与基片的距离时，就会获得充分的真空条件。蒸发粒子的平均自由程必须远远大于蒸距才能避免蒸发粒子在向基片迁移过程中与残余气体分子发生碰撞，从而有效地减少蒸发粒子的散射现象。目前常用的蒸发镀膜机的蒸距均不大于50 cm。

因此，如果要防止蒸发粒子的大量散射，在真空蒸发镀膜设备中，真空镀膜室的起始真空度要求较高的情况下真空系统的抽气能力和其在不同真空度条件下的稳定性就成了影响镀膜质量的关键因素之一，分子泵组逐渐取代了扩散泵组成为最普遍的真空系统，而德国普发 Pfeiffer 作为全世界第一台分子泵的发明者，所生产的分子泵以其优越的性能和品质一直在是世界真空舞台中独领风骚。
 

客户案例：无锡某柴油机喷油针阀生产商，乃全世界柴油制造的领军者，伯东公司作为德国普发 pffeifer分子泵的代理商以卓越的服务赢得客户的好评。

应用八:伯东Pfeiffer分子泵应用于电子束蒸发镀膜系统

上海伯东德国 Pfeiffer 分子泵成功应用于电子束蒸发镀膜系统。电子束蒸发是真空蒸镀的一种方式，它是在钨丝蒸发的基础上发展起来。电子束是一种高速的电子流。电子束蒸发是目前真空镀膜技术中一种成熟且主要的镀膜方法，它解决了电阻加热方式中膜料与蒸镀源材料直接接触容易互混的问题。

电子束蒸发法是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法。常见于半导体科研工业领域。利用加速后的电子能量打击材料标靶，使材料标靶蒸发升腾。最终沉积到目标上。伯东Pfeiffer涡轮分子泵凭借超长使用时间,清洁无油,易维护等优点成功应用于电子束蒸发镀膜系统。电子束蒸发广泛应用于家电电器、钟表、灯具、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表、塑料、玻璃、陶瓷、磁砖等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。
上海伯东客户案例：某大学微电子学系 电子束蒸发镀膜系统
1.系统功能：生长半导体材料，金属膜，Mn氧化物膜。
2.真空度要求：5x10-7 mbar
3.基片尺寸： Ф12英寸 
4.电子枪功率：5-10KW
5.衬底温度：350℃ 
6.温度均匀性： 10℃ 
7.样平台转速： 20r/min 
8.坩埚数量：4 
9.镀膜均匀性： 5%（Al） 
10.控制系统：PC+PLC全自动控制
该电子束蒸发镀膜系统配置上海伯东 Pfeiffer 分子泵:
1.分子泵 Hipace 2300*2
2.真空计 PKR 251*2+TPG 261*2