涡轮分子泵扫描电镜 SEM 抽真空

涡轮分子泵扫描电镜 SEM 抽真空
上海伯东德国 Pfeiffer Hipace Plus 系列涡轮分子泵广泛集成在扫描电子显微镜 SEM 设备中.
扫描电子显微镜 SEM, 简称扫描电镜原理是利用电子束扫描物体表面实现成像. 空气的存在会使的电子束变型, 影响扫描效果,因此要抽真空, 高效的涡轮分子泵有利于保持样品室的清洁度; 电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效, 所以除了在使用 SEM 时需要在真空环境下, 平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空室.
HiPace Plus 系列涡轮分子泵是为扫描电子显微镜 (扫描电镜 SEM) 和高端质谱行业量身定做的产品, 分子泵低振动和低磁场设计, 广泛集成在泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS , 日立 Hitachi, 日本电子 Jeol 等分析仪器设备里.
Pfeiffer Hipace Plus 涡轮分子泵目前在售型号 Hipace 300 Plus 和 Hipace 700 Plus,
以 Hipace 300 举例,主要技术参数如下: