Pfeiffer 分子泵在 OLED设备上的应用

Pfeiffer 分子泵在 OLED设备上的应用
上海伯东为德国 Pfeiffer 普发真空在中国华东、华南地区的指定代理商，于近期成功销售 Pfeiffer HiPace 700 系列分子泵，Penta 35 系列双级旋片真空泵给国内知名专业从事 OLED设备制造商。并且成功替换该公司原先使用的日本低温泵 (Cryo pump)。
OLED:有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode），又称为有机电激光显示（Organic Electroluminesence Display, OELD）。OLED具有自发光的特性，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板，当电流通过时，有机材料就会发光，而且OLED显示屏幕可视角度大，并且能够显著节省电能。

客户案例：国内知名专业从事 OLED设备制造商，此款 OLED 设备主要用于科研机构或大学实验之用，基本技术要求如下：

1. 腔体体积: 约 150 L 左右

2. 极限真空度：1 x 10-7 mbar

3. 30 分钟  1 小时内达到 5 x 10-5 mbar

4. Gas: Ar, O2

此类 OLED 生产设备，用加热使材料蒸发的方法，在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜。主要用于有机半导体材料的物理化学性能研究实验、有机半导体器件的原理研究实验及 OLED 工艺研究。Pfeiffer Hipace 系列分子泵搭配 Penta 35双级旋片泵是其理想的选择。

上海伯东代理的Pfeiffer HiPace 700系列分子泵具有以下这些优点：

1． 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求

2． 集成可变频驱动（TC 400）及电源供应系统，无需额外的控制

3． 分子泵可提供360 安装方位

4． 标准水冷集成装置

5． 标准的 RS-485 接线，可提供远程控制

6． 可提供防腐蚀特定型号

7． 具有温度传感及控制单元，可保护分子泵的安全可靠运行

8． 业界最高的半导体 Semi S2 及 IP 54 防护等级