JSM

 JSM-IT500HR扫描电子显微镜是JEOL InTouchScope™系列的新机型, 采用新开发的高亮度电子枪和透镜系统，可以更迅速便捷地提供令人惊叹的高分辨率图像、高灵敏度和高空间分辨率；从设定视野到生成报告，利用完全集成的软件大大地提高了作业速度。

主要特点：

×100,000 SEM像轻松获得

JSM-IT500HR采用了新开发的高亮度电子枪和透镜系统，因而能获得令人惊叹的高画质图像。即使对实时图像，也能轻松地在CCD图像上从寻找视野迅速过渡到高倍率（×100,000）观察。

轻松的元素分析

利用Live Analysis 功能可以不必再分别考虑高倍率观察和EDS分析。

在观察屏幕上可以随时显示分析区域内的特征X射线谱图以及自动定性的主要构成元素，利用此功能还可以发现感兴趣的元素和一些意想不到的元素。

◇ 快速面分布＆长时间面分布

70秒！面分布结果

安装大口径的EDS支持快速面分布。

由于JSM-IT500HR的高亮度电子枪能提供稳定的探针电流，因此无论是进行大区域的长时间面分布还是整夜运转仪器检查全部的数据，都可以从容应对。

◇ 数据集中管理软件SMILE VIEWTM Lab

SMILE VIEWTM Lab是一个完全集成的数据管理软件，能对与样品台坐标关联的CCD图像、SEM图像、EDS分析结果等数据进行统一管理，可以快速生成报告。利用SMILE VIEWTM Lab数据管理屏幕能对所有数据进行集中管理。利用样品架示意图或CCD图像获取的低倍率图像与观察位置、观察及分析结果以相互关联的形式被保存了起来。可以轻松查看或重新分析以前采集的数据并反映到报告中去。

基本参数

分辨率

高真空模式

分析时

低真空模式

1.5nm(@30kV),4nm(@1kV)

3nm(@15kV，探针电流1nA)

1.8nm(15kV,BED)

放大倍率

X5-X600,000（以128X96mm 的显示尺寸规定放大倍率

显示倍率

X14-X1,679,449(以358mmX269mm的显示尺寸规定放大倍率)

电子枪

高亮度六硼化镧电子枪

加速电压

加速电压：0.5kV～30kV连续可调

低真空压力范围

10～150Pa

最佳光阑角控制镜

内置

物镜光阑

4档，带有XY微调功能

自动功能

电子束对中调整

自动聚焦/自动消像散/自动亮度/自动衬度

zui大样品尺寸

200直径X75mm高度

200直径X80mm高度

32直径X90mm高度

样品台

大型全对中样品台

X：125mm,Y:100mm,Z:80mm

倾斜：-10-90°，旋转：360°

图像模式

二次电子像、REF像、成分像、拓扑像、阴影像等’

显示器

24寸触摸屏

产品优势 JSM-IT500HR扫描电子显微镜, 采用新开发的高亮度电子枪和透镜系统，可以更迅速便捷地提供令人惊叹的高分辨率图像、高灵敏度和高空间分辨率；从设定视野到生成报告，利用完全集成的软件大大地提高了作业速度。