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NIE-3500(A)全自动离子束清洗系统
NIE-3500(A)全自动离子束清洗系统产品概述:该系统为全自动上下载片,并且通过计算机全自动实现工艺控制的紧凑型独立的立柜式离子束刻蚀系统,系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。NIE-3500(A)全自动离子束清洗系统产品特点:低成本带预真空锁,自动上下载片离子束:高达2KV/
2025-01-23
NIE-3000离子源清洗系统
NIE-3000离子源清洗系统产品概述:该系统为手动放片取片,但通过计算机全自动实现工艺控制的台式离子束刻蚀系统,系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。NIE-3000离子源清洗系统产品特点:低成本离子束:高达2KV/10mA离子电流密度100-360uA/cm2离子束直径:4,5,6兼容反应及非反应气
2025-01-23