 产品分类友情链接 |
|
| 图片 |
标 题 |
更新时间 |
 |
刻蚀机 NRE-4000（M）反应离子刻蚀 那诺-马斯特
NRE-4000（M）反应离子刻蚀概述：NRE-4000是一款独立式RIE系统，配套有淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品.具有不锈钢柜子以及13的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2的视窗,另一个空置用于诊断.该系统可以支持大到12”的晶圆片。腔体为超净设计，并且根据配套的真空泵可以达到10-6Torr或更小的极限
|
2025-01-23 |
 |
刻蚀设备 NRE-3500（A）全自动反应离子刻蚀机
NRE-3500（A）全自动反应离子刻蚀机概述：独立式RIE反应离子刻蚀系统，淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品.具有不锈钢柜子以及13的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2的视窗,另一个空置用于诊断.该系统可以支持至大到12的晶圆片。腔体为超净设计，并且根据配套的真空泵可以达到10-6Torr 或更小的极限
|
2025-01-23 |
|
