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NPC-4000（A）全自动等离子去胶机（刻蚀机）
NPC-4000(A)全自动等离子去胶机(刻蚀机)概述：NANO-MASTER等离子刻蚀和清洗系统是专门设计用来满足晶圆批处理或者单晶片处理的广泛应用，从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用PC控制，可以配套不同的等离子源，加热或不加热基片夹具,具有*的能力:可以从PE等离子刻蚀切换到RIE刻蚀模式,也就是说可以支持
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2025-01-23 |
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NPC-3500（A）全自动plasma等离子清洗机
NPC-3500（A）全自动plasma等离子清洗机概述：NANO-MASTER等离子刻蚀和清洗系统是专门设计用来满足晶圆批处理或者单晶片处理的广泛应用，从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用PC控制，可以配套不同的等离子源，加热或不加热基片夹具,具有*的能力:可以从PE等离子刻蚀切换到RIE刻蚀模式,也就是说可以支持
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2025-01-23 |
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