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脉冲激光沉积 NPD-4000(M)PLD脉冲激光沉积系统
NPD-4000(M)PLD脉冲激光沉积系统机制:PLD的系统设备简单,相反,它的原理却是非常复杂的物理现象。它涉及高能量脉冲辐射冲击固体靶时,激光与物质之间的所有物理相互作用,亦包括等离子羽状物的形成,其后已熔化的物质通过等离子羽状物到达已加热的基片表面的转移,及z后的膜生成过程。所以,PLD一般可以分为以下四个阶
2025-01-23